微电子、半导体、芯片生产、计算机电子、光电显示、LED行业、通信电子、光伏行业、汽车电子、精密仪器、液晶显示屏、手机背光源、电子元器件、显像管、集成电路、磁盘制造车间等行业。
无尘车间(无尘室)不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度100级、1000级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效三级过滤器;中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
(1)清洁无尘车间内墙体时,应使用无尘布。
(2)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂。
(3)使用已获批准的专用去污剂。
(4)每天都要检查无尘车间和装备间的垃圾箱,并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘处理。并在“无尘车间清洁记录”表上标明工作完成情况。例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁无尘车间的地面时,应先关闭净化系统,并使用无尘车间专用拖把。
(7)在无尘车间里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
(8)无尘车间所有的门窗都需要清洁、保养。
(9)无尘车间每天需吸尘,拖地;一周需擦一次墙面、门窗。
(10)无尘车间架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)无尘车间三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)在无尘车间工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门最远的地方向门的方向擦。
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
4、根据生产要求需设计相应防静电设施。
5、电子工业洁净室空气洁净度等级表
空气洁净度等级(N) | 大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1 | 10 | 2 | -- | -- | -- | -- |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | -- | -- |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | -- |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | -- |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | -- | -- | -- | 352000 | 83200 | 29300 |
8 | -- | -- | -- | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | -- | -- | -- | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
一、目的:在无尘车间生产过程中做好卫生监测与管理,防止交叉污染,对产品质量起到重要的作用,因此特制定无尘洁净室洁净区工艺卫生管理制度。
二、范围:适用于洁净车间的人流、物流及无尘车间的环境、设施洁净有关的其它元素的管理。
三、工作程序:
1、进入无尘车间洁净区工作的人员须经过体检,取得健康证后才能上岗,每年复查一次,如果不合格者,必须调出,患有感冒的工作人员不得进入洁净区工作。
2、无尘车间洁净区每个人所占面积不得少于4平方米。
3、无尘车间洁净区内工作服管理见《洁净区工作服管理制度》。
4、每天下班后洁净车间要用紫外灯消毒60分钟,并填好“紫外灯消毒记录”每月用甲醛熏蒸一次,时间半个小时,并填写“熏蒸消毒记录”。
5、人流出入无尘车间洁净区必须按以下程序和要求进行:
人进→换鞋→脱外衣→洗手→穿洁净服→手消毒→风淋室→洁净区→出门口→脱洁净服→穿外衣→换鞋→人出
6、消毒液的配制由专人负责,采用0.3�6�7消毒液进行消毒。
7、进入无尘车间洁净区的零件及原辅材料,通过传递窗。传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或洁净室与洁净室之间的小货物传递,可有效的减少洁净室门的开启次数,把洁净区的污染减少的最低程度。
8、每天下班后,无尘车间操作工做好工作台面、地面、凳子的清洁工作,每周墙壁顶棚清洁一次,并填写“洁净车间卫生记录”。
9、凡进无尘车间洁净区都不得留长指甲;不得涂指甲油;不得戴戒指、手镯、手表、项链;不准吃东西;不得大声喧哗;不得穿工作服离开洁净区或未穿工作服进入洁净区;口罩配戴必须规范。
10、无尘车间洁净区的周转箱应用无孔带盖周转箱,不得与非洁净区内的周转箱交叉使用。
11、无尘车间周转箱在保证其洁净度的前提下,每周清洗不少于1次,保证其洁净度,并填写“工作器具清洗消毒记录”。
12、无尘车间洁净区的工装每天下班后操作工要做维护保养,保持工装洁净。
13、凡进入无尘车间洁净区检测和生产用的压缩空气都需经过净化处理。
14、无尘车间在生产过程中,零配件掉在地上必须清洗后方可复用。
15、无尘车间洁净区操作工每隔2个小时,须用酒精擦拭手消毒一次,以防止人手汗或表皮脱落对产品质量造成影响。
16、每天下班时,无尘车间人员必须将制品放在周转箱内,并加盖,防止污染。
17、净化车间内的照明装置每二个月检查保养一次,以保证使用的安全、洁净和照明度。
18、电子无尘车间内紫外灯应每个编号,具体记录其开始使用时间,累计使用时间,使用超过800小时应更换,也可以每年检测一次紫外线强度,强度不到的应更换,灯具每周用酒精擦拭一次,并做好记录。